大型平板显示器的检测系统
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
大型平板显示器的检测系统,包括机座,固定在机座上并向上伸展出去的机头,还包括安装在机座平台上的移动台,所述移动台可以沿X-Y方向移动;安装在机头上的显微镜检测装置,所述显微镜检测装置可以进行升降。将需要检测的大型平板显示器全部安装的放置在移动台上,移动台通过横移丝杆滚珠机构和纵移丝杆滚珠机构实现X-Y方向移动。达到检查的目的。本发明提高了移动的精度和平稳性。同时样品在观察测量的过程中本身不需要移动,因而减少了损坏和划伤的可能性。显微镜测量装置可以上下移动,实现了大尺寸下显微镜高倍观察和小尺寸测量。本发明的显微镜测量装置可部分使用全电动装置并具有独立的影象和测量系统。本发明比较适合大型液晶基板的检测。
基本信息
专利标题 :
大型平板显示器的检测系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1995986A
申请号 :
CN200610023125.1
公开(公告)日 :
2007-07-11
申请日 :
2006-01-05
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
金刚
申请人 :
元中光学仪器国际贸易(上海)有限公司
申请人地址 :
200122上海市外高桥保税区荷丹路188号第二层B部位
代理机构 :
上海天翔知识产权代理有限公司
代理人 :
陈学雯
优先权 :
CN200610023125.1
主分类号 :
G01N21/84
IPC分类号 :
G01N21/84 G01M19/00 G01R31/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
法律状态
2009-09-30 :
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-07-11 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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