本发明公开了用于光刻机的数字可调双环电机控制器及其数字调节方法，其特征在于，还包括与双环电路连接的数字调节部分，数字调节部分与双环中的各增益参数和积分参数控制连接，以使所述电流环和速度环的增益参数、积分参数和反馈增益数字调节，其中增益参数和反馈增益参数通过数模转化芯片的电阻网络选择进行调节，而积分增益通过选择开关选择不同阻值的电阻而实现数字调节，使得伺服环参数可以获得精确调节，有了更宽的调节范围。