一种超声电解复合微细加工方法及装置，属于复合微细加工领域。它将超声、电解两种加工方法有机复合，完成微器件加工，即将微器件与阴极浸入含有微细磨料的钝化性电解液中，因微电压电解使微器件表面生成钝化膜，阻止电解作用持续进行。而超声振动冲击波使电解液及磨料产生对加工面的抛磨及负压空化作用，消除电解钝化膜并将加工产物及时从加工区排除，使得电解加工持续进行。通过调制方式还可使电解电压与阴极振动相位有序同步，实现加工过程与产物排除及电解液更新交替进行。装置中包括电解装置、超声波振动驱动装置、工作台、微压力调节与Z向自动进给测量装置、电解电流测量分析装置。本方法具有精度、效率高、成本低及表面质量好的优点。