本发明公开了一种芳香族氟化合物的生产装置及其生产方法，其特征在于其具有用于重氮化反应的反应釜，反应釜底部的出料口与物料输送泵相连接，输送泵的出口则与用于热分解反应的管式反应器相连接，管式反应器的出口连接有接收装置。生产方法，包括重氮化反应、热分解过程及分离过程，其中热分解过程采用物料输送泵将重氮化反应釜中物料少量而连续地输送至热分解反应器中进行可控热分解。具有易于控制热分解过程、不会发生爆炸危险以及能耗低的特点，且生产效率大为提高。