利用阳极氧化浴槽制备有序的阳极氧化铝通孔模板的方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
一种利用阳极氧化浴槽制备有序的阳极氧化铝通孔模板的方法，其特征在于，包含下列步骤：1)取一衬底；2)在衬底上蒸镀金属铝膜；3)将蒸镀有金属铝膜的衬底固定在阳极氧化浴槽装置中；4)蒸镀有金属铝膜的衬底在阳极氧化浴槽中的电解液中阳极氧化；5)再将氧化后的衬底放入磷酸溶液中腐蚀、扩孔，形成有序的阳极氧化铝通孔模板。
基本信息
专利标题 ：
利用阳极氧化浴槽制备有序的阳极氧化铝通孔模板的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101037783A
申请号 ：
CN200610057490.4
公开（公告）日 ：
2007-09-19
申请日 ：
2006-03-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
周慧英曲胜春徐波张春林王占国
申请人 ：
中国科学院半导体研究所
申请人地址 ：
100083北京市海淀区清华东路甲35号
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
汤保平
优先权 ：
CN200610057490.4
主分类号 ：
C25D11/04
IPC分类号 ：
C25D11/04
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C25
电解或电泳工艺；其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法；电铸；工件的电解法接合；所用的装置
C25D11/00
表面反应，即形成转化层的电解覆层
C25D11/02
阳极氧化
C25D11/04
铝或以其为基之合金的
法律状态
2011-01-19 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101063084376
IPC(主分类) : C25D 11/04
专利申请号 : 2006100574904
公开日 : 20070919
号牌文件序号 : 101063084376
IPC(主分类) : C25D 11/04
专利申请号 : 2006100574904
公开日 : 20070919
2007-11-14 ：
实质审查的生效
2007-09-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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