本发明公开了属于压电薄膜材料制备技术的一种利用水基溶胶凝胶方法制备高居里点压电薄膜的方法。此方法以钛酸四丁酯和其他金属阳离子的硝酸盐和醋酸盐为主要原料，以冰醋酸和去离子水为主要溶剂制备出稳定的溶胶。通过旋转涂覆镀膜，快速退火处理形成结构致密、成分均匀的压电薄膜。此薄膜具有良好的压电铁电性能，居里点高达435℃，晶粒尺寸为20nm～100nm，有效压电系数d₃₃ ^*约为80pC/N，可以和传统PZT薄膜相媲美。薄膜厚度可以控制在150nm～1μm。此成果适用于制造各种高温使用的压电铁电元器件，在航天、汽车、勘探等工业领域有着广泛的应用前景。