聚合物去除剂
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
提供一种用来从电子器件之类的基片上除去等离子体处理后聚合物残余物的组合物。还提供使用该组合物除去等离子体处理后残余物的方法和制造集成电路的方法。
基本信息
专利标题 ：
聚合物去除剂
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1840624A
申请号 ：
CN200610059611.9
公开（公告）日 ：
2006-10-04
申请日 ：
2006-03-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
R·L·奥格J·F·拉绍斯基
申请人 ：
罗门哈斯电子材料有限公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
顾敏
优先权 ：
CN200610059611.9
主分类号 ：
C11D3/20
IPC分类号 ：
C11D3/20 H01L21/3105 H01L21/30
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C11
动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡；由此制取的脂肪酸；洗涤剂；蜡烛
C11D
洗涤剂组合物；用单一物质作为洗涤剂；皂或制皂；树脂皂；甘油的回收
C11D3/00
包括在C11D1/00组内之洗涤组合物的其他配料成分
C11D3/16
有机化合物
C11D3/20
含氧的
法律状态
2009-05-06 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-12-06 ：
实质审查的生效
2006-10-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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