真空用充气过压溢流阀
发明专利申请公布后的驳回
摘要
本发明涉及应用于离子注入机的真空系统过压保护装置，具体为真空用过压溢流阀，当内部压力高于所调定压力时，自动溢流排气，防止由于过压对部分系统元件的破坏或发生压力爆炸，起到保护真空系统安全运行的作用。
基本信息
专利标题 ：
真空用充气过压溢流阀
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101038041A
申请号 ：
CN200610065120.5
公开（公告）日 ：
2007-09-19
申请日 ：
2006-03-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
唐景庭彭立波姚琛钟新华
申请人 ：
北京中科信电子装备有限公司
申请人地址 ：
100036北京市海淀区复兴路乙20号汇通商务楼北门44号办公楼2层东段
代理机构 ：
北京中海智圣知识产权代理有限公司
代理人 ：
胡静
优先权 ：
CN200610065120.5
主分类号 ：
F16K17/04
IPC分类号 ：
F16K17/04
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K17/00
安全阀；平衡阀
F16K17/02
在一侧过压时开启；在一侧压力不足时闭合
F16K17/04
弹簧加载的
法律状态
2009-11-18 ：
发明专利申请公布后的驳回
2007-11-14 ：
实质审查的生效
2007-09-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
