微振子、半导体装置以及通信装置
专利权的终止
摘要
提供一种微振子、半导体装置以及通信装置，在适用于例如信号滤波器等的微振子中，谋求降低其对地电容，抑制信号输出的损耗。在基板上形成具有与下部电极(43、44)对置而进行静电驱动的梁(47)的振子元件(33)，且形成为与梁(47)连接的直流偏置供电线(45)的线宽(W1)以比梁(47)的宽度(W2)窄的宽度形成。
基本信息
专利标题 ：
微振子、半导体装置以及通信装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1838532A
申请号 ：
CN200610073946.6
公开（公告）日 ：
2006-09-27
申请日 ：
2006-01-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
田中均洋
申请人 ：
索尼株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
岳耀锋
优先权 ：
CN200610073946.6
主分类号 ：
H03H9/15
IPC分类号 ：
H03H9/15 H03H9/02
法律状态
2017-03-22 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101708715554
IPC(主分类) : H03H 9/15
专利号 : ZL2006100739466
申请日 : 20060127
授权公告日 : 20090722
终止日期 : 20160127
号牌文件序号 : 101708715554
IPC(主分类) : H03H 9/15
专利号 : ZL2006100739466
申请日 : 20060127
授权公告日 : 20090722
终止日期 : 20160127
2009-07-22 ：
授权
2006-11-22 ：
实质审查的生效
2006-09-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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