基于硅杯结构的热分布式微流体流量传感器
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明属于分析化学中的微全分析系统研究技术领域，用以在生化反应和分离过程中监测微反应体系在运行过程中液体样品的流动分布和变化状况。其特征是利用热分布式微流体流量传感器的工作原理，采用MEMS技术，将金属薄膜式微型加热器和温度传感器制作在硅杯上，并使之与石英微管道组合构成热分布式微流体流量传感器；以硅杯作为微型加热器和温度传感器的载体。本发明的效果和益处是有效防止了加热器和温度传感器与硅衬底之间的热交换，提高了微流体流量传感器的测量灵敏度；设计了弯曲蛇形多抽头温度传感器，以获得在某一确定流速情况下，上下游温度传感器间的最大温差。
基本信息
专利标题 ：
基于硅杯结构的热分布式微流体流量传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1900717A
申请号 ：
CN200610200185.6
公开（公告）日 ：
2007-01-24
申请日 ：
2006-03-01
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
闫卫平邝永变马灵芝杜立群
申请人 ：
大连理工大学
申请人地址 ：
116024辽宁大连甘井子区凌工路2号
代理机构 ：
大连理工大学专利中心
代理人 ：
侯明远
优先权 ：
CN200610200185.6
主分类号 ：
G01N33/50
IPC分类号 ：
G01N33/50 G01F1/68
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N33/50
••生物物质的化学分析；包括了生物特有的配体结合方法的测试；免疫学试验
法律状态
2010-07-21 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101003335132
IPC(主分类) : G01N 33/50
专利申请号 : 2006102001856
公开日 : 20070124
号牌文件序号 : 101003335132
IPC(主分类) : G01N 33/50
专利申请号 : 2006102001856
公开日 : 20070124
2007-03-21 ：
实质审查的生效
2007-01-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
