一种多元素分析仪，包括激发光源，其具有一X光管。X光管上设置一准直器，准直器前端设有初级滤色片，以及提供X光管激发X射线能量的光管高压。样品盘，其具有一转盘。转盘上开设有一样品孔供放置待测样品，样品孔处于通过准直器校准的X射线的光路上，同时准直器与样品孔呈一角度。探头正对样品孔接收由X射线激发样品产生的X荧光，其具有一个正比计数管。正比计数管前端设有次级滤色片。一个电路输出设备与探头串联。在本实用新型中，激发光源的初级滤色片为铜箔，次级滤色片为含硅的薄膜。采用上述结构的分析仪，是一种无化学污染、无辐射污染、测量时间短、精度高、结构简单、安全可靠、价格便宜的X光管激发的能量色散型X射线荧光的多元素分析仪。