本实用新型涉及集成光学技术领域。它提出了一种多信道可调光衰减器，是基于平面光波导技术，采用半导体硅基沉积二氧化硅和金属薄膜溅射法的多层平面晶圆加工制作工艺和技术。可调光衰减器的光路由马赫－曾德干涉仪的上臂调节支路和下臂直通构支路构成；置于调节支路上面的加热电路由高电导率的导电层和高电阻率的加热层构成，通过电子控制可调电源，调节温度，以改变输出光信号的强度。深度蚀刻的隔热槽结构，可提高衰减器的调节深度，减小多信道可调光衰减器的串扰。该光器件不但结构紧凑、集成度高、体积小，重量轻，性能稳定可靠；而且制作工艺成熟、稳定、适合大批量生产、生产效率高、成本低，可广泛应用于光通信网络系统和光学仪器设备。