一种用于晶圆制造厂洁净室的设备防震锁固装置。现有洁净室内的设备固定方式存在过于单薄，无法起到防震效果的问题。本实用新型的设备防震锁固装置用于将设备锁固至洁净室高架地板下的蜂巢式格子梁板，其中，相邻格子梁板间设有回风层，所述防震锁固装置包括两压杆、一螺杆和数个固定螺丝，所述的两压杆分别水平跨设在相邻格子梁板的上、下两侧，所述螺杆竖直设置于回风层中，且该螺杆的两端分别连接至所述两压杆的中部，使该两压杆产生一相向的力以夹紧格子梁板，所述固定螺丝穿过设备底座及高架地板上的穿孔，将设备锁固在位于格子梁板上方的压杆上。利用本实用新型的装置，可稳定、牢固地将设备锁固在格子梁板上，并能提供良好的防震效果。