一种用于低温等离子过氧化氢消毒杀菌设备的射频电源，涉及电源技术领域；用于解决电源制造复杂、造价高、辐射高、能效低的技术问题；该电源包括：整流、滤波电路；PFC电路，连接滤波电路；逆变电路，连接PFC电路，包括PWM逆变单元和射频输出耦合单元；输出及取样电路，连接逆变电路，包括输出电流测量单元、发射输出功率测量单元、反射功率测量单元和计算机检测控制单元；其中，计算机检测控制单元分别连接PFC直流单元、PWM逆变单元、输出电流测量单元、发射输出功率测量单元、反射功率测量单元，用于对整个电源的检测控制。本实用新型具有结构简单，造价较低，电磁辐射低，电能利用率高的特点。