一种新型等离子体多极电弧法制备合金纳米粉设备，包括生成室、多级捕集室、离心式循环泵、处理室，其主要技术特征是，在生成室中央部位的上面安装有可自由移动的三个分离的阴极，其下面安装有可连续提供棒料式或块料坩埚式的三个共用的阳极，生成室与多级捕集室通过管道相连，多级捕集室内安装有气固分离器，多级捕集室下面连接处理室，同时通过管道与净化器相连，净化器与离心式循环泵相连接，离心式循环泵通过管道与生成室相连。电源与三个分离结构的阴极、一体结构的三个共用的阳极通过电线连接。其主要优点是，操作灵活，结构简单，生成量大，纳米粉体的性价比高，并且可以长时间连续制备纳米粉和合金纳米粉以及相关的复合纳米粉。