本实用新型公开一种气化过氧化氢灭菌装置，它包括外壳体，在外壳体上设有回气口、过氧化氢蒸汽输出口和湿空气出口，在外壳体内设有回气口风机、调节阀、催化器、除湿机、干燥空气输送风机、空气过滤器、预热管、汽化器和加药泵，回气口风机一端与回气口接通，另一端通过调节阀与催化器连接，催化器输出端连接除湿机，除湿机一端连通干燥空气输送风机，另一端与湿空气出口连通，干燥空气输送风机连通空气过滤器，空气过滤器通过预热管与汽化器连通，汽化器的出口与过氧化氢蒸汽输出口连接，汽化器上设有加药泵，加液泵连通过氧化氢药水储瓶。这种气化过氧化氢灭菌装置，能安全地产生气态过氧化氢，并方便地使用于灭菌空间。