一种灯丝引出杆绝缘结构
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要
本实用新型涉及一种离子注入机的离子源，特别涉及一种长寿命离子源的灯丝引出杆绝缘结构，属于半导体器件制造领域；针对现有长寿命离子源技术中灯丝引出杆电位高、绝缘体容易受高温离子溅射而污染的问题，提出了一种灯丝引出杆绝缘结构，满足离子源的高可靠性及长使用寿命要求，在一绝缘块3上固定连接有一灯丝引线铜杆1，其间设有密封圈2，在灯丝引线铜杆1四周设有通入冷却水的灯杆水冷套4，结构紧凑稳定可靠，具有抗热变形、抗高温腐蚀性能好特点；结构连接操作方便；绝缘及防污染爬电性能优越，可靠性高。
基本信息
专利标题 ：
一种灯丝引出杆绝缘结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200620113059.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2006-04-24
授权号 ：
CN2922114Y
授权日 ：
2007-07-11
发明人 ：
伍三忠戴习毛唐景庭刘仁杰
申请人 ：
北京中科信电子装备有限公司
申请人地址 ：
100036北京市海淀区复兴路乙20号汇通商务楼北门44号办公楼2层东段
代理机构 ：
北京中海智圣知识产权代理有限公司
代理人 ：
曾永珠
优先权 ：
CN200620113059.2
主分类号 ：
H01J37/08
IPC分类号 ：
H01J37/08 H01J37/317 H01L21/265
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
H01J37/08
离子源；离子枪
法律状态
2009-06-17 ：
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2007-07-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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