本实用新型提供一种反应室压力检测装置，包括弯管、压力计、接头、连接管，连接管、接头、弯管、压力计以串联形式竖直安装在反应室的下方，在反应室的真空管路上装有调压阀，机台CPU的信号线与压力计和调压阀相连，其特点是压力计与接头之间设有连接弯管，弯管数量为1～4根，每根通常呈90°弯角。运行时，气态原材料经调节阀均匀导入到反应室参加反应，压力计将检测到的压力信号反馈给CPU，由CPU适时控制调压阀，从而实现反应室气体压力的控制及监测。该设计可有效避免固体生成物或其它固体颗粒直接进入压力计，充分保证压力计的精度不受影响，延长压力计的使用寿命，并可消除压力计读值偏移所产生的工艺变异风险。