基于法拉第旋光效应的位移和角度同时测量的干涉系统
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要
本实用新型公开了基于法拉第旋光效应的位移和角度同时测量的干涉系统。双频激光器发出的正交线偏振光经第一分束镜分成参考和测量光束两路，参考光束经第一检偏器拍频后接第一探测器；测量光束再次被第二分束镜分成透射和反射光束两路，透射光束经一个基于法拉第旋光效应的入射光原路返回装置后入射置于被测物体上的测量平面镜，反射光束经平面反射镜反射后入射同样结构的另一个基于法拉第旋光效应的入射光原路返回装置，出射后入射置于被测物体上的同一测量平面镜；入射和出射两个基于法拉第旋光效应的入射光原路返回装置中的两路光束相互平行。它实现了高精度、大范围的位移和角度同时测量，适用于纳米、微光机电、集成电路芯片制造和生物技术领域的测量。
基本信息
专利标题 ：
基于法拉第旋光效应的位移和角度同时测量的干涉系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200620140183.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2006-11-24
授权号 ：
CN200972385Y
授权日 ：
2007-11-07
发明人 ：
陈本永杨涛钟挺孙政荣张丽琼
申请人 ：
浙江理工大学
申请人地址 ：
310018浙江省杭州市江干区经济技术开发区白杨街道2号大街5号
代理机构 ：
杭州求是专利事务所有限公司
代理人 ：
林怀禹
优先权 ：
CN200620140183.8
主分类号 ：
G01B11/00
IPC分类号 ：
G01B11/00 G01B9/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
2010-01-20 ：
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2007-11-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
