扩散炉的炉门密封装置

专利权的终止

摘要

本实用新型涉及一种用在扩散炉闭管扩散工艺中的炉门密封装置，包括有石英炉门和SiC桨，所述密封装置包括有O型密封圈、固定管和波纹管，所述O型密封圈设置在石英炉门与工艺管之间；所述固定管紧密接触在SiC桨外，且在石英炉门上SiC桨穿孔处设有一内方外圆的突起法兰；所述波纹管设置在突起法兰和固定管之间。本实用新型在石英炉门与工艺管之间增设O型密封圈，将炉门与工艺管之间进行密封，同时在石英炉门与SiC桨接触处设有一内方外圆的突起法兰，不影响SiC桨的操作；解决了闭管扩散要求，同时避免了排出的残余气体污染环境。

基本信息

专利标题：

扩散炉的炉门密封装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200620148207.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2006-10-31

授权号：

CN200972331Y

授权日：

2007-11-07

发明人：

李补忠钟华盛金龙郝晓明

申请人：

北京七星华创电子股份有限公司

申请人地址：

100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号

代理机构：

北京中宸联合知识产权代理有限公司

代理人：

徐光熙

优先权：

CN200620148207.4

主分类号：

F27D1/18

IPC分类号：

F27D1/18