一种双光栅位移传感器
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要
本实用新型公开了一种双光栅位移传感器,它包括位移单元、位移导向单元和信号处理电路,以及位于同一光路上的激光器、双光栅单元和光电接收器;双光栅单元由动光栅和定光栅构成,定光栅与动光栅的栅线和栅平面分别平行,动光栅固定在位移单元上,位移单元与位移导向单元组成直线运动副,其运动方向垂直于栅线且平行于栅平面;激光器发出的激光束入射至双光栅单元发生双光栅干涉,光电接收器用于接受产生的干涉条纹,并将产生的电信号传送给信号处理电路。本装置可以获得比单光栅位移传感器更好的干涉条纹特征和条纹电压信号,适合采取更高的细分达到更高的分辨率。只要动光栅移动过程中一致性好,应能实现相当大的位移范围。其测量范围可达20mm,分辨力达到约0.01um。
基本信息
专利标题 :
一种双光栅位移传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620163346.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-12-01
授权号 :
CN200986441Y
授权日 :
2007-12-05
发明人 :
刘晓军陈晓辉
申请人 :
华中科技大学
申请人地址 :
430074湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
代理机构 :
华中科技大学专利中心
代理人 :
曹葆青
优先权 :
CN200620163346.4
主分类号 :
G01D5/26
IPC分类号 :
G01D5/26 G01D5/347 G01D5/38 G01B11/02 G01B9/02
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01D
非专用于特定变量的测量;不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置;计费设备;非专用于特定变量的传输或转换装置;未列入其他类目的测量或测试
G01D5/00
用于传递传感构件的输出的机械装置;将传感构件的输出变换成不同变量的装置,其中传感构件的形式和特性不限制变换装置;非专用于特定变量的变换器
G01D5/26
采用光学装置,即应用红外光、可见光或紫外光
法律状态
2010-01-27 :
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2007-12-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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