药液喷洒设备
专利权的终止
摘要
本实用新型一种药液喷洒设备，其包括一喷洒器、一主储存槽、至少一副储存槽、一连通装置以及一循环管路。喷洒器用以喷洒一药液于一基板，而主储存槽是配置于基板下方，以收集且容置药液。此外，连通装置则是连接主储存槽与副储存槽，以将药液由主储存槽输送至副储存槽，而循环管路是连接于副储存槽与喷洒器之间，以将药液由副储存槽输送至喷洒器。
基本信息
专利标题 ：
药液喷洒设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200620165601.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2006-12-04
授权号 ：
CN200993726Y
授权日 ：
2007-12-19
发明人 ：
张宏麟李少谦
申请人 ：
欣兴电子股份有限公司
申请人地址 ：
台湾省桃园县桃园市
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
周国城
优先权 ：
CN200620165601.9
主分类号 ：
G03F7/30
IPC分类号 ：
G03F7/30 G03F7/42 B05D1/02
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/30
用液体消除影像的
法律状态
2013-01-30 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101390318226
IPC(主分类) : G03F 7/30
专利号 : ZL2006201656019
申请日 : 20061204
授权公告日 : 20071219
终止日期 : 20111204
号牌文件序号 : 101390318226
IPC(主分类) : G03F 7/30
专利号 : ZL2006201656019
申请日 : 20061204
授权公告日 : 20071219
终止日期 : 20111204
2007-12-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN200993726Y.PDF
PDF下载
