用于使物体以二自由度倾斜的微机电装置
专利权的终止
摘要
本发明涉及一种用于使物体(2)以二自由度倾斜的微机电装置(1’)，其包括承载元件(3)和隔膜(4)，所述物体(2)通过隔膜(4)与承载元件(3)连接，其中物体(2)和承载元件(3)分别包括至少一个电极(5，6)。物体(2)通过物体(2)的至少一个电极(5)与承载元件(3)的至少一个电极(6)之间的静电力(7)被倾斜，电压从电压源(V1，V2)施加到电极(5，6)。
基本信息
专利标题 ：
用于使物体以二自由度倾斜的微机电装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101107195A
申请号 ：
CN200680002523.3
公开（公告）日 ：
2008-01-16
申请日 ：
2006-01-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
M·T·梅韦斯D·范利洛普R·J·阿斯杰斯G·L·M·扬森E·C·E·范格鲁斯温D·M·布劳沃
申请人 ：
皇家飞利浦电子股份有限公司
申请人地址 ：
荷兰艾恩德霍芬
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
蔡洪贵
优先权 ：
CN200680002523.3
主分类号 ：
B81B3/00
IPC分类号 ：
B81B3/00 G02B26/08
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B3/00
由柔性或可变形的元件组成的装置，例如由弹性舌或膜片组成
法律状态
2012-03-21 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101207111390
IPC(主分类) : B81B 3/00
专利号 : ZL2006800025233
申请日 : 20060110
授权公告日 : 20100210
终止日期 : 20110110
号牌文件序号 : 101207111390
IPC(主分类) : B81B 3/00
专利号 : ZL2006800025233
申请日 : 20060110
授权公告日 : 20100210
终止日期 : 20110110
2010-02-10 ：
授权
2008-03-19 ：
实质审查的生效
2008-01-16 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
