通过四氯硅烷的热氢化反应制备三氯硅烷的方法

专利权的终止

摘要

本发明涉及一种方法，其中含四氯化硅的反应物气体和含氢气的反应物气体在700－1500℃的温度下反应，从而形成含三氯硅烷的产物混合物。本发明方法的特征在于，根据等式1，产物混合物在反应物气体于热交换器中的停留时间τ[ms]内冷却到温度T_cooling，其中A＝4000，6≤B≤50，100℃≤T_Cooling≤900℃，并且经由热交换器除去的产物气体的能量用于加热反应物气体。

基本信息

专利标题：

通过四氯硅烷的热氢化反应制备三氯硅烷的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101107197A

申请号：

CN200680003231.1

公开（公告）日：

2008-01-16

申请日：

2006-01-26

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

N·加西亚－阿隆索C·吕丁格H－J·埃贝勒

申请人：

瓦克化学股份公司

申请人地址：

德国慕尼黑

代理机构：

永新专利商标代理有限公司

代理人：

程大军

优先权：

CN200680003231.1

主分类号：

C01B33/107

IPC分类号：

C01B33/107