卡盘系统中用于控制温度的装置和方法

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

公开了一种控制热卡盘系统的温度的装置和方法。所述系统包括控制热卡盘中的温度转换的温度控制器。所述温度控制器包括分别从空气源和水源接收空气和流体的输入，以及用于将空气和流体按比例交替传递至热卡盘的输出。时间比例控制器通过计算多个控制区的每一个控制区中的比例带产生比例。温度控制器使用所述比例带以管理流至卡盘的空气和流体的流量，从而实现温度转换的下冲最小。

基本信息

专利标题：

卡盘系统中用于控制温度的装置和方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101137947A

申请号：

CN200680004007.4

公开（公告）日：

2008-03-05

申请日：

2006-02-27

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

N·W·埃尔斯德费尔O·V·米库利那A·穆尔奇德

申请人：

天普桑尼克公司

申请人地址：

美国马萨诸塞州

代理机构：

北京润平知识产权代理有限公司

代理人：

周建秋

优先权：

CN200680004007.4

主分类号：

G05D23/00

IPC分类号：

G05D23/00 G05B11/00 G01R31/28