图像形成装置及方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要

一种可以形成具有高定位精度的图像形成装置和方法。所述图像形成装置包括平台以及绘制装置,其中加工件安装在所述平台上,所述绘制装置检测安装在平台上的加工件的标准标记,并根据作为标准的检测的标准标记的位置形成图像,其中平台相对于绘制装置往复运动,且当平台在向外的路线上移动时,绘制装置获得标准标记的定位数据,而当平台在返回路线上移动时,根据获得的定位数据在加工件上形成图像,以及标准定位件设置在平台上,所述标准定位件用于通过与在沿平台的向外和返回方向延伸的加工件的一对侧面之中的最后曝光的侧面接触来定位加工件。

基本信息
专利标题 :
图像形成装置及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN101120286A
申请号 :
CN200680005018.4
公开(公告)日 :
2008-02-06
申请日 :
2006-02-21
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
桥口昭浩
申请人 :
富士胶片株式会社
申请人地址 :
日本国东京都
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
张成新
优先权 :
CN200680005018.4
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  G03F9/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2008-10-22 :
发明专利申请公布后的视为撤回
2008-02-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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