本发明提供了一种制备包含纳米结构成分的负载型催化剂的方法，其中所述纳米结构成分包含具有纳米催化剂颗粒的微结构载体晶须，其中该方法包括步骤a)在氮气的存在下从至少第一碳靶真空沉积材料，和步骤b)从包含至少一种过渡金属的第二靶真空沉积材料，所述第二靶不包含贵金属。在一种实施方式中，在步骤b)之前进行步骤a)。在另一种实施方式中，同时进行步骤a)和b)。通常在没有氧气的情况下进行该沉积步骤。通常，所述过渡金属是铁或钴，最通常是铁。本公开还提供了一种用本方法制备的包含纳米结构成分的负载型催化剂，其中所述纳米结构成分包含具有纳米催化剂颗粒的微结构载体晶须。本公开内容还提供了一种包含本发明负载型催化剂的燃料电池膜电极组件。