无声放电式等离子体装置
授权
摘要
在本发明的无声放电式等离子体产生装置包括电介体、夹着电介体而相对地配置的1组电极、向电极之间施加交流电压而使其放电的交流电源，向产生放电的放电空间供给气体而形成等离子体。电极的至少一个由形成在电介体上的导电性供电薄膜构成，在电介体破损而在电极之间产生了电弧放电的情况下，使产生了电弧放电的部分的供电薄膜消失或氧化，使得停止产生电弧放电。
基本信息
专利标题 ：
无声放电式等离子体装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101128964A
申请号 ：
CN200680006165.3
公开（公告）日 ：
2008-02-20
申请日 ：
2006-03-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
和田升葛本昌树中谷元荆原弘行江崎德光峰慎吾民田太一郎
申请人 ：
三菱电机株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
王以平
优先权 ：
CN200680006165.3
主分类号 ：
H01T19/00
IPC分类号 ：
H01T19/00 C01B13/11
法律状态
2012-05-09 ：
授权
2008-04-16 ：
实质审查的生效
2008-02-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
