自动化产能控制系统及其操作方法
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摘要
本发明提供一种自动化产能控制系统及方法。通过在实体层级(entity level)上收集多个工艺工具的特定工具信息，而可在适度短的时间间隔中在高统计显著性的情形下计算适当的与产能相关的性能特性(performance characteristic)。此外，可将自工具信息得到的所述性能特性与诸如由动态仿真计算提供的参考数据比较，以便根据标准工艺管制机制而识别高性能以及低性能的设备。
基本信息
专利标题 ：
自动化产能控制系统及其操作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101128786A
申请号 ：
CN200680006344.7
公开（公告）日 ：
2008-02-20
申请日 ：
2006-01-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
G·弗拉赫T·夸尔格
申请人 ：
先进微装置公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 ：
戈泊
优先权 ：
CN200680006344.7
主分类号 ：
G05B19/418
IPC分类号 ：
G05B19/418
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制；调节
G05B
一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置
G05B19/00
程序控制系统
G05B19/02
电的
G05B19/418
全面工厂控制，即集中控制许多机器，例如直接或分布数字控制、柔性制造系统、集成制造系统、计算机集成制造
法律状态
2013-04-24 ：
授权
2008-04-16 ：
实质审查的生效
2008-02-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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