真空测量仪
专利申请权、专利权的转移
摘要
本发明提出一种发射电子的阴极(6)，它由装接到由不锈钢制成的侧壁(2)上的导电的发射层(7)和门(9)，将该门以很小的距离固定在发射层(7)的凹入的发射表面的内部。阴极(6)围绕着一个反应区域(3)，该反应区域包含一个圆柱形的筛网状的阳极(5)和一个位于中心的离子收集器(4)，该离子收集器包括一直的轴向细丝。电流计(11)测量反映在反应区域(3)中气体密度的离子收集器电流(IIC)，同时将门电压(VG)保持在发射层(7)的地电压与较高的阳极电压(VA)之间，并且调节门电压，其方式使得将阳极电流(IA)保持不变。发射层(7)可包括碳纳米管，金刚石状的碳，一种金属或一种金属混合物，或者一种半导体材料，半导体材料例如是可以比如用碳化物或钼涂布的硅。然而，发射表面也可是例如被化学刻蚀过程变粗糙的侧壁的内表面的一部分。门(9)可以是
基本信息
专利标题 ：
真空测量仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101133308A
申请号 ：
CN200680007086.4
公开（公告）日 ：
2008-02-27
申请日 ：
2006-03-01
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
W·克纳普M·沃斯特
申请人 ：
英飞康有限责任公司
申请人地址 ：
瑞士巴特拉加茨
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
崔幼平
优先权 ：
CN200680007086.4
主分类号 ：
G01L21/30
IPC分类号 ：
G01L21/30 G01L21/32 G01L21/34 H01J1/30 H01J1/304 H01J41/00 H01J41/02 H01J41/04 H01J41/06 H01J41/08 H01J41/10 H01J19/00 H01J19/02 H01J19/04 H01J19/10
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L21/00
真空计
G01L21/30
利用电离效应的
法律状态
2020-09-25 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : G01L 21/30
登记生效日 : 20200908
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 英飞康有限责任公司
变更后权利人 : 英福康控股股份公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 瑞士巴特拉加茨
变更后权利人 : 瑞士巴德拉加兹
登记生效日 : 20200908
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 英飞康有限责任公司
变更后权利人 : 英福康控股股份公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 瑞士巴特拉加茨
变更后权利人 : 瑞士巴德拉加兹
2011-08-03 ：
授权
2008-04-30 ：
实质审查的生效
2008-02-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
