单一的直角端块

专利权的终止

摘要

要求保护一种单一的直角端块，以用于在溅射装置中可旋转地承载靶材。该端块包括所有必须的装置，以通过壁或门中的单个开口从外部驱动、通电、支承和密封(冷却剂和气体)溅射装置中的靶材。该直角端块驱使靶材绕平行于靶材所安装的壁的旋转轴旋转。优选地，端块置于靶材之下，以便容许易于排出冷却剂。

基本信息

专利标题：

单一的直角端块

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101137764A

申请号：

CN200680007963.8

公开（公告）日：

2008-03-05

申请日：

2006-02-23

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

K·德拉尔特W·德博斯谢尔J·德贝维尔G·拉佩尔

申请人：

贝卡尔特先进涂层公司

申请人地址：

比利时丹泽

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

郭小军

优先权：

CN200680007963.8

主分类号：

C23C14/34

IPC分类号：

C23C14/34 H01J37/34

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23C

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆

C23C14/00

通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆

C23C14/22

以镀覆工艺为特征的

C23C14/34

溅射

法律状态

2015-04-08 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101604925389
IPC(主分类) : C23C 14/34
专利号 : ZL2006800079638
申请日 : 20060223
授权公告日 : 20101201
终止日期 : 20140223

2012-11-21 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101465549196
IPC(主分类) : C23C 14/34
专利号 : ZL2006800079638
变更事项 : 专利权人
变更前 : 贝卡尔特先进涂层公司
变更后 : 梭莱先进镀膜股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 比利时丹泽
变更后 : 比利时丹泽

2010-12-01 ：

授权

2008-04-30 ：

实质审查的生效

2008-03-05 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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