电极工具及其制造方法

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

本发明涉及制造电极工具的方法，该方法与传统电极工具制造方法相比，提高了工具导电图案的精度和质量，随之改进了加工后的沟槽图案的质量，延长了工具寿命并减少了制造工艺数。更具体地，提供电极坯，并通过气相沉积或气相沉积聚合对电极坯的加工表面施用薄膜绝缘树脂涂层。然后通过蚀刻之类的方法容易地从电极坯的部分加工表面上去除薄膜绝缘树脂涂层，由此形成预定的导电图案表面部分，而不需要耗时和昂贵的深雕刻机械加工和附加加工。

基本信息

专利标题：

电极工具及其制造方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN102017236A

申请号：

CN200680011081.9

公开（公告）日：

2011-04-13

申请日：

2006-02-02

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

冈宫秋雄臼井本基根建昌宣

申请人：

美蓓亚株式会社

申请人地址：

日本长野县

代理机构：

北京市中咨律师事务所

代理人：

林柏楠

优先权：

CN200680011081.9

主分类号：

H01M4/02

IPC分类号：

H01M4/02