本发明提供一种水处理装置，其在超纯净水制造装置(5)、稀薄污水回收装置(34)、杂用水回收装置及污水处理装置的各前段，设有第一处理槽(1)～第四处理槽。各处理槽(1，2，…)由微/纳米气泡发生槽(6，23，…)和厌氧测定槽(7，24…)构成。因此，利用在各微/纳米气泡发生槽(6，23，…)发生的微/纳米气泡，各厌氧测定槽(7，24…)内的微生物被活化，提高了低浓度有机物的处理效率。进而，当所述各厌氧测定槽(7，24，…)中的各溶解氧分析器(13，30，…)或各氧化还原电位计(14，31，…)的测定值超出各自规定的一定的范围时，控制循环泵(9，26，…)的转速，以减少微/纳米气泡的发生。这样一来，处理水中的微/纳米气泡的含有量保持适当。