动态侦测移动基材损毁和偏位的传感器
授权
摘要

本发明提供一种设备与方法,其利用至少二个传感器(140A、140B)以沿着移动基材的至少二平行边缘的长度而侦测此基材缺陷,例如损毁或偏位的存在。在一实施例中,该设备包含一种传感器设置,此传感器设置在基材的至少二平行边缘感测基材以侦测基材缺陷。在另一实施例中,该设备包含一种机械手臂(114或130),其具有一基材支持表面;以及一传感器设置,此传感器设置在基材的至少二平行边缘感测基材以侦测基材缺陷。

基本信息
专利标题 :
动态侦测移动基材损毁和偏位的传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN101360988A
申请号 :
CN200680051400.9
公开(公告)日 :
2009-02-04
申请日 :
2006-01-18
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
W·A·巴格利P·李K-T·金S-K·金T·基约塔克S·金T·松本J·E·拉森M·吉纳佳瓦J·霍夫曼B·C·梁
申请人 :
应用材料股份有限公司
申请人地址 :
美国加利福尼亚州
代理机构 :
上海专利商标事务所有限公司
代理人 :
陆嘉
优先权 :
CN200680051400.9
主分类号 :
G01N21/86
IPC分类号 :
G01N21/86  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/86
测试移动的板、片材料
法律状态
2016-01-20 :
授权
2011-12-28 :
著录事项变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101254912154
IPC(主分类) : G01N 21/86
专利申请号 : 2006800514009
变更事项 : 申请人
变更前 : 应用材料股份有限公司
变更后 : 应用材料公司
变更事项 : 地址
变更前 : 美国加利福尼亚州
变更后 : 美国加利福尼亚州
2009-04-01 :
实质审查的生效
2009-02-04 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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