可偏转微机械系统及其应用
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摘要
本发明涉及一种可偏转微机械系统以及这种可偏转微机械系统的应用，其中能够确定至少一个可偏转元件的偏转。根据本发明，可偏转元件由至少一个弹簧元件支持并至少带有一个检测偏转的单元。所述检测单元形成为带有接触件的压阻传感器，所述接触件彼此至少间隔设置且设置在随偏转而变形的区域中。所述接触件连接到电压源。非均匀电场形成为沿深度方向与接触件表面垂直，从而能够检测到在接触件之间的根据偏转而变化的电阻以作为对位置的测量值。变形区域由导电材料或半导体材料形成。
基本信息
专利标题 ：
可偏转微机械系统及其应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101379377A
申请号 ：
CN200680052190.5
公开（公告）日 ：
2009-03-04
申请日 ：
2006-02-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
霍尔格·康拉德托马斯·克洛泽蒂洛·桑德纳
申请人 ：
弗兰霍菲尔运输应用研究公司
申请人地址 ：
德国慕尼黑
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
张文
优先权 ：
CN200680052190.5
主分类号 ：
G01L1/18
IPC分类号 ：
G01L1/18 G01D5/16 G01L9/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/18
利用压电电阻材料的性质，即材料的欧姆电阻随作用于材料上的力的大小或方向的改变而变化的性质
法律状态
2011-05-11 ：
授权
2009-04-29 ：
实质审查的生效
2009-03-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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