智能热盘温度控制器
专利权的终止
摘要

本实用新型涉及一种智能热盘温度控制器,温度控制器具有主控制电路,其输入端通过温度检测电路接有热盘温度传感器,输出端通过温度控制电路接至热盘加热装置,主控制电路还接有人机接口电路,所述主控制电路以单片机为控制核心,其内部存有热盘温度控制程序;主控制电路还接有故障检测和保护电路,其中故障检测电路除采集上述温度检测电路的温度值外还采集热盘电流值,保护电路;还设有参数掉电保护电路,通过数据线及时钟线与主控制电路相连。本实用新型温度控制精确、恒定、响应迅速,重复开机时温度的重复性一致,能够准确跟踪工艺过程,提高成品率,调试方便省时。

基本信息
专利标题 :
智能热盘温度控制器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720014345.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-08-31
授权号 :
CN201075184Y
授权日 :
2008-06-18
发明人 :
赵乃霞
申请人 :
沈阳芯源微电子设备有限公司
申请人地址 :
110168辽宁省沈阳市浑南新区飞云路16号
代理机构 :
沈阳科苑专利商标代理有限公司
代理人 :
许宗富
优先权 :
CN200720014345.8
主分类号 :
G05D23/20
IPC分类号 :
G05D23/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制;调节
G05D
非电变量的控制或调节系统
G05D23/00
温度的控制
G05D23/19
以使用电装置为特征的
G05D23/20
具有随温度变化而产生电或磁性质变化的传感元件
法律状态
2017-09-26 :
专利权的终止
专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101749620316
IPC(主分类) : G05D 23/20
专利号 : ZL2007200143458
申请日 : 20070831
授权公告日 : 20080618
终止日期 : 无
2008-06-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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