一种直排大气的多级罗茨干式真空泵
专利权的终止
摘要
本实用新型涉及真空泵技术领域,特别是一种直排大气的多级罗茨真空泵。该泵具有主从动轴、主从动转子、主从动齿轮,主动齿轮、主动转子安装在主动轴上,从动齿轮、从动转子安装在从动轴上,泵体采用多级相连结构,随转子级数不同分有多个相对独立的泵腔,每两个泵腔之间有级间隔板分开,并通过级间气流通道相连。本实用新型解决现有技术中一次性投入大、加工难度大、极限真空低、消耗功率大、不能直排大气、不能用于IC装备的不足。本实用新型在抽气过程中可保持真空环境不受污染,适用于半导体、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业。
基本信息
专利标题 :
一种直排大气的多级罗茨干式真空泵
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720014452.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-09-07
授权号 :
CN201074591Y
授权日 :
2008-06-18
发明人 :
王光玉秦柏林张振厚张健
申请人 :
中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
申请人地址 :
110168辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号
代理机构 :
沈阳科苑专利商标代理有限公司
代理人 :
张志伟
优先权 :
CN200720014452.0
主分类号 :
F04C25/02
IPC分类号 :
F04C25/02 F04C23/00 F04C18/14 F04C29/04
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F04
液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵
F04C
旋转活塞或摆动活塞的液体变容式机械
F04C
旋转活塞或摆动活塞的液体变容式机械
F04C25/00
适于特殊用途的弹性流体泵
F04C25/02
用于产生高真空
法律状态
2013-11-06 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101535922375
IPC(主分类) : F04C 25/02
专利号 : ZL2007200144520
申请日 : 20070907
授权公告日 : 20080618
终止日期 : 20120907
号牌文件序号 : 101535922375
IPC(主分类) : F04C 25/02
专利号 : ZL2007200144520
申请日 : 20070907
授权公告日 : 20080618
终止日期 : 20120907
2012-04-04 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101319724284
IPC(主分类) : F04C 25/02
专利号 : ZL2007200144520
变更事项 : 专利权人
变更前 : 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
变更后 : 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 110168 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号
变更后 : 110197 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号
号牌文件序号 : 101319724284
IPC(主分类) : F04C 25/02
专利号 : ZL2007200144520
变更事项 : 专利权人
变更前 : 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
变更后 : 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 110168 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号
变更后 : 110197 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号
2008-06-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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