真空感应镀锡装置
专利权的终止
摘要

本实用新型涉及一种真空感应镀锡装置,包括真空蒸镀机,所述真空蒸镀机由真空系统,蒸发系统,薄膜卷绕系统,冷却系统和控制系统构成,其中,所述蒸发系统为蒸发舟,所述蒸发舟包括用于放置、熔化并蒸发锡金属的石墨坩埚,所述石墨坩埚外设置保温层,所述保温层外环绕设置有用于通过电感应磁场加热的线圈感应器,所述线圈感应器连接高频电源。使用本实用新型镀锡,能使镀锡薄膜的产量提高,生产效率提高,并保证较高的成品率,解决了一直以来镀锡薄膜不能大量生产的缺陷,使得镀锡薄膜的应用市场成为可能。

基本信息
专利标题 :
真空感应镀锡装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720031519.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-04-10
授权号 :
CN201037150Y
授权日 :
2008-03-19
发明人 :
王健王越喜
申请人 :
西安中意高频设备厂
申请人地址 :
710043陕西省西安市东郊幸福商城49号
代理机构 :
西安创知专利事务所
代理人 :
谭文琰
优先权 :
CN200720031519.1
主分类号 :
C23C14/26
IPC分类号 :
C23C14/26  C23C14/14  C23C14/54  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/26
电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法
法律状态
2012-06-27 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101272912949
IPC(主分类) : C23C 14/26
专利号 : ZL2007200315191
申请日 : 20070410
授权公告日 : 20080319
终止日期 : 20110410
2008-03-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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