本实用新型公开了一种自检测式衡流气源压差微孔定量值测量系统，包括柜体、与旋转容器中上下探头连接的第一、第二恒流气管，在第一、第二恒流气管分别通过控制阀与柜体上的标定值孔相通，其中一个孔为大孔，另一孔为小孔。二孔之间的压差值模拟了旋转容器内上下探头之间的压差，作为系统的标定值，当运行中可以开闭控制阀，测取数据与系标定值比较，判断柜体内系统是否正常。本实用新型结构巧妙，操作非常简单，能在运行和非运行状态对系统故障进行自检测，取得了不增加任何器件而产生一个不可缺失的自检子系统。