多层梁结构的电容式微机械温度传感器
专利权的终止
摘要
多层梁结构电容式温度传感器，由电容极板和连接电容极板的引线组成，采用微机械加工方法制备，该传感器由上电容极板(1)和下电容极板(2)及连接电容极板的第一引线(3)和第第二引线(4)组成，上电容极板(1)和下电容极板(2)为导电膜，在该两导电膜之间由绝缘介质膜(5)填充，第一引线(3)和第二引线(4)分别对应与上电容极板(1)和下电容极板(2)相接，下电容极板(2)设在衬底(6)上，在下电容极板(2)下设有空腔。上电容极板(1)的导电膜为金属膜，下电容极板(2)的导电膜为P+层，绝缘介质膜(5)为二氧化硅。在温度变化时，多层梁的各层材料因热膨胀系数失配而产生热应力，使多层梁发生弯曲形变引起传感器电容发生变化。
基本信息
专利标题 ：
多层梁结构的电容式微机械温度传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200720038336.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2007-06-19
授权号 ：
CN201069398Y
授权日 ：
2008-06-04
发明人 ：
黄庆安陆婷婷秦明
申请人 ：
东南大学
申请人地址 ：
210096江苏省南京市四牌楼2号
代理机构 ：
南京经纬专利商标代理有限公司
代理人 ：
叶连生
优先权 ：
CN200720038336.2
主分类号 ：
G01K7/34
IPC分类号 ：
G01K7/34
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01K
温度测量；热量测量；未列入其他类目的热敏元件
G01K7/08
被测物体本身构成热电材料之一，例如，尖端型的
G01K7/34
利用电容性元件
法律状态
2010-09-22 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101005921197
IPC(主分类) : G01K 7/34
专利号 : ZL2007200383362
申请日 : 20070619
授权公告日 : 20080604
号牌文件序号 : 101005921197
IPC(主分类) : G01K 7/34
专利号 : ZL2007200383362
申请日 : 20070619
授权公告日 : 20080604
2008-06-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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