一种微步进滑台，属于超精密加工和测量设备中的微步进驱动和定位装置。它包括一滑台座；一滑块，可滑动地置于滑台座上；一微步进执行装置，位于滑台座内并固定在滑块的下方，其上安装有一电磁结合器；一音圈电机，与滑台座固定，其上安装有一推杆，推杆与电磁结合器相对应；一精密光栅尺，设在滑台座的侧部，用于测量滑块的位置。优点：在精密定位的起始和结束阶段能快进和快退；使滑块的定位精度达到微米级；通过电磁式结合器，可实现音圈电机的推杆与微步进执行装置之间的结合或断开；在电磁结合器与推杆两者相结合的结合面上贴装阻尼元件，以降低音圈电机的推杆快速驱动时对微步进执行装置的冲击；一对箝位器采用四边形结构形式，箝位牢靠。