RF输出超时保护器
专利权的终止
摘要
本实用新型针对蚀刻过程中，由于控制计算机软体陷入死循环而导致晶圆长时间暴露于电浆中报废的风险，提供了一种RF输出超时保护器。该RF输出超时保护器，包括计时系统、数字信号处理器和若干I/O端口，其特征在于：所述的RF输出超时保护器装设于控制计算机朝向射频功率发生器的信号传输路径中，并且与射频功率发生器的反馈信号输出端相连接。通过该RF输出超时保护器的计时功能，监视射频功率发生器的工作状态，对于异常的超时情况及时予以终止控制；再辅以声光报警提醒工作人员进行调整、处理，从而达到保护晶圆的目的。
基本信息
专利标题 ：
RF输出超时保护器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200720044081.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2007-10-24
授权号 ：
CN201117638Y
授权日 ：
2008-09-17
发明人 ：
刘加琪查永强蒋民峰单玉才周世峰
申请人 ：
和舰科技(苏州)有限公司
申请人地址 ：
215025江苏省苏州市工业园区星华街333号
代理机构 ：
南京苏科专利代理有限责任公司
代理人 ：
陈忠辉
优先权 ：
CN200720044081.0
主分类号 ：
H01L21/00
IPC分类号 ：
H01L21/00 H01L21/306 H02H5/00 G08B7/06
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
法律状态
2011-01-05 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101029294523
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2007200440810
申请日 : 20071024
授权公告日 : 20080917
终止日期 : 20091124
号牌文件序号 : 101029294523
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2007200440810
申请日 : 20071024
授权公告日 : 20080917
终止日期 : 20091124
2008-09-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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