本实用新型公开了一种大功率数字化高频软开关IGBT逆变式等离子体电源。该电源包括多组主机电源电路、智能控制模块以及高频引弧电路相互连接组成，多组主机电源电路相互并联，并分别与智能控制模块相连接，智能控制模块与高频引弧电路相连接，高频引弧电路还与负载相连接。本实用新型采用先进的高频IGBT软开关逆变技术，在进一步提高效率和逆变频率、节省制造材料的同时，提高了电磁兼容能力，冲击电流小，节能，体积小，重量轻；实现了全数字化控制，具有更好的一致性、动态响应性能和可扩展性，操作简单、快捷；采用了基于ARM的智能节点型积木式、模块式结构，在增大输出功率的同时，进一步提高了系统的冗余能力和可靠性。