一种用于制备PN结的高温炉门自动密闭结构装置
专利权的终止
摘要

本实用新型提供一种用于制备PN结的高温炉门自动密闭结构装置,包括石英炉门、石英反应管和碳化硅悬臂桨,所述石英炉门安装在所述石英反应管一端且它与该石英反应管端面之间装有密封圈,所述石英炉门外侧面设有一中空圆柱体,石英反应管中的碳化硅悬臂桨的一端通过所述中空圆柱体的内腔而伸至石英反应管外,所述中空圆柱体与碳化硅悬臂桨结合部位外套有四氟波纹管,石英反应管内靠近石英炉门处放置有隔热包块,压缩弹簧对石英炉门施加有预紧力。本装置实现了工艺高温扩散工艺过程与外界大气环境完全隔离,不受外界条件变化的影响从而确保扩散工艺过程可控性与可预见性,大大提高了扩散质量的均匀性,且延长了设备的使用年限。

基本信息
专利标题 :
一种用于制备PN结的高温炉门自动密闭结构装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720062149.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-01-10
授权号 :
CN201016565Y
授权日 :
2008-02-06
发明人 :
向小龙
申请人 :
中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请人地址 :
410111湖南省长沙市天心区新开铺1025号
代理机构 :
长沙正奇专利事务所有限责任公司
代理人 :
马强
优先权 :
CN200720062149.8
主分类号 :
F27D1/18
IPC分类号 :
F27D1/18  H01L21/22  H01L21/00  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D1/00
外壳;衬炉;壁;炉顶
F27D1/18
门框;门、盖、活动盖板
法律状态
2015-03-11 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101600377055
IPC(主分类) : F27D 1/18
专利号 : ZL2007200621498
申请日 : 20070110
授权公告日 : 20080206
终止日期 : 20140110
2008-02-06 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN201016565Y.PDF
PDF下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332