本实用新型公开了一种特气柜，它包括柜体和阀组面盘，所述阀组面盘由至少一路供气回路、吹扫回路和抽真空回路构成；所述供气回路由工艺钢瓶出口的截止阀I通过管路依次连接气动隔膜阀I、高压截止隔膜阀I、预过滤器I、减压阀I、低压截止隔膜阀I、精密过滤器I接入供气管路；所述吹扫回路由吹扫氮气钢瓶出口的截止阀II通过管路依次连接高压截止隔膜阀II、预过滤器II、减压阀II、单向阀I、高压截止阀I，通过单向阀II、吹扫隔离阀I接入所述供气回路；所述抽真空回路由氮气输入口通过管路依次连接针孔阀I、止回阀I、真空发生器至排气口，真空发生器的真空端通过管路通过高、低压排气阀连接到所述供气回路中。