本实用新型提供了一种晶圆暂存装置，包括，腔体以及腔体外壁上的进/出片口；位于腔体外底部的升降机；位于升降机下方夹持传动轴承的传动轴承平台；穿过传动轴承平台与升降机连接的传动轴承；位于传动轴承平台下方，且与传动轴承连接的马达；以及设置在传动轴承平台上的位置固定件，所述位置固定件位于升降机底部在传动轴承平台的投影范围内，并且与升降机底部的距离保持在设定的偏差范围内。本实用新型晶圆暂存装置避免了晶圆在通过腔体的进/出口片进出时碰撞到传送晶圆的机械手臂或者制程设备的外壁，避免了晶圆破损。