扩散片更换装置

专利权的终止

摘要

本实用新型涉及一种扩散片更换装置。现有的扩散片更换装置存在操作复杂、扩散片更换时更换装置与其它光学元件发生碰撞等问题。本实用新型的用于光刻机扩散片的更换装置，包括柄杆，其中该柄杆上设置有两个与其垂直的柄头。采用本实用新型的更换装置不仅能方便地扩散片与积分镜固定或者分离，而且扩散片更换时更换装置不会与其它光学元件发生碰撞。

基本信息

专利标题：

扩散片更换装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720071949.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-06-29

授权号：

CN201077041Y

授权日：

2008-06-25

发明人：

王琨李云锋张伟徐敏祺

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市张江路18号

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

王洁

优先权：

CN200720071949.6

主分类号：

B25B13/48

IPC分类号：

B25B13/48 G03F7/20

IPC结构图谱

B部——作业；运输

B25

手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手

B25B

不包含在其他类目中的用于紧固、连接、拆卸或夹持的工具或台式设备

B25B13/00

板钳；扳手

B25B13/48

用于特定目的

法律状态

2017-07-25 ：

专利权的终止

专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101736765733
IPC(主分类) : B25B 13/48
专利号 : ZL2007200719496
申请日 : 20070629
授权公告日 : 20080625
终止日期 : 无

2013-04-17 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101568006951
IPC(主分类) : B25B 13/48
专利号 : ZL2007200719496
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130326

2008-06-25 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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