一种晶圆正面污染物的检测样品制备治具
专利权的终止
摘要

本实用新型提供了一种晶圆正面污染物的检测样品制备治具。现有技术在制备检测样品时将晶圆放置在晶圆盒中且用吸管向其正面滴制样溶液且转移反应后的溶液存在着操作不便的问题。本实用新型的治具包括放置晶圆的本体、罩设在本体上的罩体和设置在罩体顶部用于供制样者向晶圆正面喷洒制样溶液或水的进样喷头,该本体为与锥线分别成直角和预设锐角的第一和第二平面截倒立椎面所得,该第一和第二平面在倒立锥面上形成了第一和第二截圆,该第二截圆为直接与操作台接触的椭圆且其低于第一截圆,该晶圆的直径介于第二截圆的短轴和第一截圆的直径间,该本体在放置晶圆且距操作台最近的位置上设置有供制样溶液流出本体的开口。本实用新型可使制样便利精准且安全。

基本信息
专利标题 :
一种晶圆正面污染物的检测样品制备治具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720073816.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-08-20
授权号 :
CN201096669Y
授权日 :
2008-08-06
发明人 :
肖建军宋碧波张士仁吕秋玲
申请人 :
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请人地址 :
201203上海市张江路18号
代理机构 :
上海思微知识产权代理事务所
代理人 :
屈蘅
优先权 :
CN200720073816.2
主分类号 :
G01N1/28
IPC分类号 :
G01N1/28  G01N23/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N1/00
取样;制备测试用的样品
G01N1/28
测试用样品的制备
法律状态
2017-09-26 :
专利权的终止
专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101749620479
IPC(主分类) : G01N 1/28
专利号 : ZL2007200738162
申请日 : 20070820
授权公告日 : 20080806
终止日期 : 无
2013-04-10 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101565607392
IPC(主分类) : G01N 1/28
专利号 : ZL2007200738162
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130322
2008-08-06 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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