一种刷子间距调节工具
专利权的终止
摘要

本实用新型提供一种刷子间距调节工具,其用于调节清洗装置中两个刷子之间的间距,清洗装置可以控制两个刷子闭合和打开,晶圆置于两个刷子的中间;两个刷子均有液体流出端和液体流入端;其中,刷子间距调节工具包括一个干端调节工具和一个湿端调节工具,分别用于测量两个刷子的液体流出端之间的间距和液体流入端之间的间距;其中干端调节工具和湿端调节工具均设有一个测量部,干端调节工具的测量部的宽度等于两个刷子液体流出端之间的理想间距,湿端调节工具的测量部的宽度等于两个刷子液体流入端之间的理想间距。本实用新型可以有效避免每次清洗晶圆之前,由于操作人员视觉误差,造成的两个刷子之间的间距不够精确的缺点。

基本信息
专利标题 :
一种刷子间距调节工具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720075308.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-10-09
授权号 :
CN201140189Y
授权日 :
2008-10-29
发明人 :
陈肖科
申请人 :
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请人地址 :
201203上海市张江路18号
代理机构 :
上海思微知识产权代理事务所
代理人 :
屈蘅
优先权 :
CN200720075308.8
主分类号 :
B08B7/04
IPC分类号 :
B08B7/04  B08B3/04  B08B1/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
B08B7/04
多种操作的结合
法律状态
2017-11-24 :
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : B08B 7/04
申请日 : 20071009
授权公告日 : 20081029
2013-03-20 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101541997694
IPC(主分类) : B08B 7/04
专利号 : ZL2007200753088
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130221
2008-10-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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