单色仪自动控制装置
专利权的终止
摘要

本实用新型涉及一种用于镀膜监控系统的单色仪自动控制装置。该单色仪具有一个分光箱体,箱体两侧壁上开有光束入射孔和光束出射孔,与入射孔和出射孔对应处装有进光狭缝盘和出光狭缝盘,中部装有分光光栅,在两狭缝盘及分光光栅的转轴上均装有步进电机,并通过设置的控制电路完成步进电机的自动控制。该装置通过对工控机的简单操作,并按照设定的进、出光狭缝尺寸及分光波长值的要求,可使进、出光狭缝盘和分光光栅快速准确的调整到位。与现有技术相比,具有调整快捷、准确,操作简便,工作可靠性强等优点。

基本信息
专利标题 :
单色仪自动控制装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720089362.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-02-01
授权号 :
CN201012934Y
授权日 :
2008-01-30
发明人 :
杨育兴张兰赵升林
申请人 :
河南中光学集团有限公司
申请人地址 :
473000河南省南阳市中州路254号河南中光学集团有限公司
代理机构 :
郑州联科专利事务所
代理人 :
张晓萍
优先权 :
CN200720089362.8
主分类号 :
C23C14/54
IPC分类号 :
C23C14/54  G05D5/03  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/54
镀覆工艺的控制或调节
法律状态
2013-03-27 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101425740654
IPC(主分类) : C23C 14/54
专利号 : ZL2007200893628
申请日 : 20070201
授权公告日 : 20080130
终止日期 : 20120201
2009-09-30 :
专利申请权、专利权的转移(专利权的转移)
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 河南中光学集团有限公司
变更后权利人 : 河南中光学集团有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 河南省南阳市中州路254号河南中光学集团有限公司,邮编 : 473000
变更后权利人 : 河南省南阳市中州路254号河南中光学集团有限公司,邮编 : 473000
登记生效日 : 20090821
变更事项 : 共同专利权人
变更前权利人 : 无
变更后权利人 : 南阳中光学机电装备有限公司
2008-01-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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